• 2022-10-26
    单晶硅片出厂前需氧化形成一层二氧化硅膜层,作为集成电路的绝缘层或隔离介质。( )
  • 内容

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      二氧化硅的作用有哪些? A: 选择性扩散的掩蔽层 B: 器件的保护和钝化层 C: 隔离和绝缘介质 D: MOS管的绝缘栅材料

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      氧化硅的CMP抛光中,氧化层用CMP抛光至特定的厚度,因为没有抛光停止层,ILD氧化层抛光需要有效的终点检测

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      光纤的主要材料是() A: 二氧化锗 B: 二氧化硅 C: 三氧化二硼 D: 五氧化二磷

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      外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层,即外延层。

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      氧化硅的CMP抛光中,氧化层用CMP抛光至特定的厚度,因为没有抛光停止层,ILD氧化层抛光需要有效的终点检测 A: 正确 B: 错误