为了减少固定电荷密度和快界面态的影响,制作MOS器件通常选择硅单晶的方向为()
A: [110]
B: [100]
C: [111]
D: [101]
A: [110]
B: [100]
C: [111]
D: [101]
举一反三
- 为减少固定电荷密度和快界面态的影响,在制备MOS器件时通常选择硅单晶的方向为( )。 A: [100] B: [111] C: [110] D: [101]
- 为减少固定电荷密度和快界面态的影响,在制备MOS器件时通常选择硅单晶的方向为() A: 【100】 B: 【111】 C: 【110】 D: 【111】或【110】
- 界面态密度随晶体取向而变,对于硅晶体,界面态密度按( )顺序而变。 A: (111)<(100)<(110) B: (100)<(110)<(111) C: (110)<(100)<(111) D: (101)<(110)<(111)
- MOS器件会受到氧化层中的电荷和SiO2-Si界面俘获陷阱的影响,所以MOS器件一般制作在111晶向上。
- Si-SiO2界面态密度最大的晶向是( )。 A: (111) B: (110) C: (100) D: 界面态密度与晶向无关