• 2022-10-27
    进行限定源扩散,在扩散40min后,测得结深是2.1μm,若要获得2.3μm的结深,还约扩散 min。(结深加深不大,可忽略表面浓度变化)(计算结果保留到个位)
  • 8
    本题目来自[网课答案]本页地址:https://www.wkda.cn/ask/exxaxmamttpotjto.html

    内容

    • 0

      根据结深的计算公式,可以得出扩散过程,影响结深的因素有: A: 表面浓度与衬底浓度的比值 B: 预淀积或是再分布 C: 扩散系数 D: 时间

    • 1

      中国大学MOOC: 扩散结深的测量方法

    • 2

      在研究扩散规律中,非常重要的一个参数是 A: 扩散系数 B: 方块电阻 C: 结深 D: 表面浓度

    • 3

      热扩散工艺中扩散结深通常采用()和()两种方法进行测量。

    • 4

      表征一个硅片的扩散效果,主要通过()。两者的综合表现就决定了扩散方块电阻。 A: 电压 B: 结深 C: 表面掺杂浓度 D: 电流