• 2022-06-09
    中国大学MOOC: 利用一定的化学试剂将经过曝光后的可溶性的光刻胶溶解掉,从而在光刻胶上显示出掩膜版相对应的图形,该工序称为
  • 显影

    内容

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      中国大学MOOC: 掩膜版和光刻胶之间留有一定的缝隙用于提高掩膜版的使用寿命,该曝光方式是

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      光刻工艺所需要的三要素为: A: 光刻胶、掩模版和光刻机 B: 光源、光刻胶和曝光时间 C: 光刻胶、掩模版和光刻焦深 D: 光源、掩模版和超净间 E: 光源、光刻胶和掩模版

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      中国大学MOOC: 将曝光后的硅片放入某种化学溶液后,部分光刻胶去除,该工序称为

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      在集成电路中,将掩膜版上的图形位置及几何尺寸转移到光刻胶上的工艺是()。 A: 薄膜制备 B: 光刻 C: 刻蚀 D: 金属化

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      中国大学MOOC: 在集成电路中,将掩膜版上的图形转移到光刻胶上的图形化工艺是