• 2022-10-27
    半导体硅单晶锭加工制备成晶片,根据晶片质量管理的要求需要利用四探针测试装置对( )进行检测。
    A: 硅片厚度
    B: 硅片平整度
    C: 硅片薄层电阻
    D: 硅片杂质浓度