刻蚀的均匀性由测量刻蚀前后晶圆的特定点厚度，并计算这些点的刻蚀速率得出，测试点的只要随机选取一片晶圆测试1个点的厚度即可。
A: 正确
B: 错误
A: 正确
B: 错误
举一反三
- 中国大学MOOC: 刻蚀的均匀性由测量刻蚀前后晶圆的特定点厚度，并计算这些点的刻蚀速率得出，测试点的只要随机选取一片晶圆测试1个点的厚度即可。
- 刻蚀要求在整个晶圆上有一个均匀的刻蚀速率，（）是在晶圆上由测量刻蚀过程前后特定点的厚度，并计算这些点的刻蚀速率而得到的。 A: 选择性 B: 均匀性 C: 轮廓 D: 刻蚀图案
- 晶圆制造过程中,检测刻蚀质量的好坏,一般通过以下几个方面体现出来:( )。 A: 刻蚀均匀性 B: 图形保真度 C: 刻蚀选择比 D: 刻蚀的洁净度
- 114.晶圆制造过程中，检测刻蚀质量的好坏，一般通过以下几个方面体现出来：（）。 A: 刻蚀均匀性 B: 图形保真度 C: 刻蚀选择比 D: 刻蚀的洁净度
- 晶圆进料检验测量厚度时，测量一片晶圆的几个点（）。 A: 5个 B: 6个 C: 4个 D: 3个