关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入!公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入!公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入! 2022-10-26 APCVD工艺的重复性与LPCVD相比:() A: 好 B: 相当 C: 差 D: 随机 APCVD工艺的重复性与LPCVD相比:()A: 好B: 相当C: 差D: 随机 答案: 查看 举一反三 如果要求淀积非金属薄膜的台阶覆盖性(保角特性)好,应该使用下列哪种工艺?() A: APCVD B: LPCVD C: PECVD 与APCVD相比,LPCVD有更低的成本、更高的产量以及更好的膜性能,因此应用更为广泛。 对于已经完成金属化工艺,介质的淀积常常采用哪种方法 A: APCVD B: LPCVD C: PECVD D: LCVD 解释质量输运限制CVD工艺和反应速度限制CVD工艺的区别,哪种工艺依赖于温度,LPCVD和APCVD各属于哪种类型? APCVD、LPCVD、PECVD和HDPCVD中文名称分别是?